Pengangkut perahu wafer SiC dengan kemurnian tinggi

VeTekSemi Pengangkut perahu wafer SiC dengan kemurnian tinggi adalah komponen bantalan penting yang digunakan dalam tungku anil, tungku difusi, dan peralatan lainnya dalam proses pembuatan semikonduktor. Pengangkut kapal wafer SiC dengan kemurnian tinggi biasanya terbuat dari bahan silikon karbida dengan kemurnian tinggi dan terutama mencakup bagian-bagian berikut:

• Badan penyangga perahu: struktur mirip braket, khusus digunakan untuk membawawafer silikonatau bahan semikonduktor lainnya.

• Struktur pendukung: Desain struktur pendukungnya memungkinkannya menahan beban berat pada suhu tinggi dan tidak akan berubah bentuk atau rusak selama perlakuan suhu tinggi.

bahan silikon karbida

Sifat fisik dariSilikon Karbida yang Dikristalisasi Ulang：

Jika persyaratan proses produksi lebih tinggi,Lapisan CVD SiCdapat dilakukan pada pembawa perahu wafer SiC dengan kemurnian tinggi untuk membuat kemurnian mencapai lebih dari 99,99995%, sehingga semakin meningkatkan ketahanan suhu tinggi.

Sifat fisik dasar lapisan CVD SiC:

Selama perlakuan suhu tinggi, pembawa perahu wafer SiC dengan kemurnian tinggi memungkinkan wafer silikon dipanaskan secara merata untuk menghindari panas berlebih lokal. Selain itu, bahan silikon karbida yang tahan suhu tinggi memungkinkannya menjaga stabilitas struktural pada suhu 1200°C atau bahkan lebih tinggi.

Selama proses difusi atau anil, dayung kantilever dan pengangkut perahu wafer SiC dengan kemurnian tinggi bekerja sama. Itudayung kantileverperlahan-lahan mendorong pembawa perahu wafer SiC dengan kemurnian tinggi yang membawa wafer silikon ke dalam ruang tungku dan menghentikannya pada posisi yang ditentukan untuk diproses. 

Pengangkut perahu wafer SiC dengan kemurnian tinggi mempertahankan kontak dengan wafer silikon dan dipasang pada posisi tertentu selama proses perlakuan panas, sedangkan dayung kantilever membantu menjaga seluruh struktur pada posisi yang tepat sekaligus memastikan keseragaman suhu.

Pengangkut perahu wafer SiC dengan kemurnian tinggi dan dayung kantilever bekerja sama untuk memastikan keakuratan dan stabilitas proses suhu tinggi.

Semikonduktor VeTekmemberi Anda pembawa perahu wafer SiC dengan kemurnian tinggi yang disesuaikan dengan kebutuhan Anda. Menantikan pertanyaan Anda.

Semikonduktor VeTekToko pengangkut perahu wafer SiC dengan kemurnian tinggi: