Penerima EPI

Susceptor EPI VeTek Semiconductor dirancang untuk aplikasi peralatan epitaksi yang menuntut. Struktur grafit berlapis silikon karbida (SiC) dengan kemurnian tinggi menawarkan ketahanan panas yang sangat baik, keseragaman termal yang seragam untuk ketebalan dan ketahanan lapisan epitaksi yang konsisten, dan ketahanan kimia yang tahan lama. Kami berharap dapat bekerja sama dengan Anda.

mengirimkan permintaan

Deskripsi Produk

VeTek Semiconductor adalah pemimpin profesional Penerima EPI China, Penerima Planetary ALD, produsen Penerima Grafit Berlapis TaC.

Susceptor EPI VeTek Semiconductor adalah komponen penting dari pertumbuhan epitaxial dalam proses manufaktur semikonduktor. Fungsi utamanya adalah untuk menopang dan memanaskan wafer sehingga lapisan epitaksi berkualitas tinggi dapat tumbuh merata pada permukaan wafer.

Susceptor EPI Semikonduktor VeTek biasanya terbuat dari grafit dengan kemurnian tinggi dan dilapisi dengan lapisan silikon karbida (SiC). Desain ini memiliki keunggulan utama sebagai berikut:

Stabilitas suhu tinggi: Suseptor EPI dapat tetap stabil di lingkungan bersuhu tinggi, memastikan pertumbuhan lapisan epitaksi yang seragam.

Ketahanan korosi: Lapisan SiC memiliki ketahanan korosi yang sangat baik dan dapat menahan erosi gas kimia, sehingga memperpanjang masa pakai baki.

Konduktivitas termal: Konduktivitas termal yang tinggi dari bahan SiC memastikan distribusi suhu wafer yang seragam selama pemanasan, sehingga meningkatkan kualitas lapisan epitaksial.

Pencocokan koefisien ekspansi termal: Koefisien ekspansi termal SiC mirip dengan grafit, menghindari masalah pelepasan lapisan akibat ekspansi dan kontraksi termal.

Sifat fisik dasar dariPenerima EPI: