Cincin pelapis CVD SiC

Ada banyak bagian kecil di bagian bulan sabit, dan cincin pelapis SiC adalah salah satunya. Dengan mengaplikasikan lapisanLapisan CVD SiCpada permukaan cincin grafit kemurnian tinggi dengan metode CVD, kita dapat memperoleh cincin pelapis CVD SiC. Cincin pelapis SiC dengan lapisan SiC memiliki sifat yang sangat baik seperti ketahanan suhu tinggi, sifat mekanik yang sangat baik, stabilitas kimia, konduktivitas termal yang baik, insulasi listrik yang baik, dan ketahanan oksidasi yang sangat baik. Cincin pelapis SiC CVD dan pelapis SiCpengurusbekerja sama.

Cincin pelapis SiC dan bekerja samapengurus

Fungsi cincin pelapis CVD SiC:

  ●   Distribusi aliran: Desain geometris cincin pelapis SiC membantu membentuk medan aliran gas yang seragam, sehingga gas reaksi dapat menutupi permukaan substrat secara merata, sehingga memastikan pertumbuhan epitaksi yang seragam.

  ●  Pertukaran panas dan keseragaman suhu: Cincin pelapis CVD SiC memberikan kinerja pertukaran panas yang baik, sehingga menjaga suhu seragam cincin dan substrat pelapis CVD SiC. Hal ini dapat menghindari cacat kristal yang disebabkan oleh fluktuasi suhu.

  ●  Pemblokiran antarmuka: Cincin pelapis SiC CVD dapat membatasi difusi reaktan sampai batas tertentu, sehingga bereaksi di area tertentu, sehingga mendorong pertumbuhan kristal SiC berkualitas tinggi.

  ●  Fungsi dukungan: Cincin pelapis CVD SiC dikombinasikan dengan disk di bawahnya untuk membentuk struktur yang stabil untuk mencegah deformasi pada suhu tinggi dan lingkungan reaksi, serta menjaga stabilitas keseluruhan ruang reaksi.

VeTek Semiconductor selalu berkomitmen untuk menyediakan cincin pelapis CVD SiC berkualitas tinggi kepada pelanggan dan membantu pelanggan menyelesaikan solusi dengan harga paling kompetitif. Apa pun jenis cincin pelapis CVD SiC yang Anda butuhkan, silakan berkonsultasi dengan VeTek Semiconductor!

DATA SEM STRUKTUR KRISTAL FILM CVD SIC：

Sifat fisik dasar lapisan CVD SiC：