Suseptor Epitaksi pelapis CVD SiC

CVD SiC Coating Epitaxy Susceptor dari VeTek Semiconductor adalah alat rekayasa presisi yang dirancang untuk penanganan dan pemrosesan wafer semikonduktor. Susceptor Epitaxy Lapisan SiC ini memainkan peran penting dalam mendorong pertumbuhan film tipis, epilayer, dan pelapis lainnya, dan dapat mengontrol suhu dan sifat material secara tepat. Selamat datang pertanyaan Anda lebih lanjut.

mengirimkan permintaan

Deskripsi Produk

CVD SiC Coating Epitaxy Susceptor adalah sejenisPenerima Epi LED MOCVD, yang memainkan peran sentral dalam reaktor CVD. Sebagai Epi Susceptor, tidak hanya menjadi sumber panas, namun juga menyediakan platform pendukung yang stabil untuk substrat selama proses pengendapan.Lapisan SiCdapat secara efektif mengurangi oksidasi dan kontaminasi Susceptor Grafit di lingkungan bersuhu tinggi, sehingga memastikan kemurnian tinggi dari material yang diendapkan.

Dasarsifat fisik lapisan CVD SiC:

Sifat fisik dasar lapisan CVD SiC
Milik	Nilai Khas
Struktur Kristal	Polikristalin fase β FCC, terutama berorientasi (111).
Kepadatan	3,21 gram/cm³
Kekerasan	Kekerasan Vickers 2500（beban 500g）
Ukuran Butir	2~10μm
Kemurnian Kimia	99,99995%
Kapasitas Panas	640J·kg^-1·K^-1
Suhu Sublimasi	2700℃
Kekuatan Lentur	415 MPa RT 4 titik
Modulus Muda	tikungan 430 Gpa 4pt, 1300℃
Konduktivitas Termal	300W·m^-1·K^-1
Ekspansi Termal (CTE)	4,5×10^-6K^-1

Keunggulan Produk Susceptor Epitaksi Lapisan SiC CVD:

● Deposisi yang Tepat: Dengan CVD SiC Coating Epitaxy Susceptor, Anda dapat mencapai pengendapan film tipis dan pelapis yang dikontrol secara tepat untuk mendapatkan hasil berkualitas tinggi dan berulang.

● Mengurangi Kontaminasi: Lapisan SiC meminimalkan risiko kontaminasiEpi Suseptorberbasis Grafit, memastikan kemurnian material yang diendapkan.

● Daya tahan: Lapisan SiC meningkatkan ketahanan oksidasi dan ketahanan korosi kimia pada Graphite Epitaxy Susceptor, sehingga memberikan masa pakai lebih lama dan keandalan lebih tinggi.

Semikonduktor VeTekberkomitmen untuk menyediakan produk berkualitas tinggi dan harga yang kompetitif. Apakah itu benarJika Penerima EPIatau Susceptor EPI Grafit dengan kemurnian tinggi, kami dapat memenuhi kebutuhan Anda. Kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di Tiongkok.

Semikonduktor VeTekToko Produk Susceptor Epitaxy Lapisan SiC CVD: