Reseptor Aixtron MOCVD

Susceptors diproduksi olehSemikonduktor Vetekterbuat dari substrat grafit dan bahan pelapis silikon karbida (SiC). Mengingat ketahanan aus yang lebih tinggi, ketahanan terhadap korosi, dan kekerasan material SiC yang sangat tinggi, material ini sangat cocok untuk digunakan di lingkungan proses yang keras. Oleh karena itu, Susceptors yang diproduksi oleh Vetek Semiconductor dapat langsung digunakan dalam proses MOCVD suhu tinggi tanpa perlakuan permukaan tambahan.

Susceptor adalah komponen kunci dalam manufaktur semikonduktor, khususnya pada peralatan MOCVD untuk proses pengendapan film tipis. Peran utama dariPenerima Aixtron SiCdalam proses MOCVD adalah membawa wafer semikonduktor, memastikan deposisi film tipis yang seragam dan berkualitas tinggi dengan menyediakan distribusi panas dan lingkungan reaksi yang seragam, sehingga mencapai produksi film tipis berkualitas tinggi.

Reseptor Aixtron MOCVDbiasanya digunakan untuk menopang dan memperbaiki dasar wafer semikonduktor untuk menjamin stabilitas wafer selama proses pengendapan. Pada saat yang sama, lapisan permukaan Aixtron MOCVD Susceptor terbuat dari silikon karbida (SiC), bahan yang sangat konduktif terhadap panas. Lapisan SiC memastikan suhu seragam pada permukaan wafer, dan pemanasan seragam sangat penting untuk mendapatkan film berkualitas tinggi.

Selain itu,Reseptor Aixtron MOCVDyang kami produksi memainkan peran lebih besar dalam mengendalikan aliran dan distribusi gas reaktif melalui desain material yang dioptimalkan. Hindari arus eddy dan gradien suhu untuk mencapai deposisi film yang seragam.

Yang lebih penting lagi, pada proses MOCVD, bahan pelapis silikon karbida (SiC) memiliki ketahanan terhadap korosi sehinggaSemikonduktor Vetek'SReseptor Aixtron MOCVDjuga dapat menahan suhu tinggi dan gas korosif.

Sifat fisik dasar dariPELAPISAN SIC:

Toko Perahu Wafer Semikonduktor VeTek:

Tinjauan umum rantai industri epitaksi chip semikonduktor: