Berapa gradien suhu medan termal tungku kristal tunggal?

Apakah yangbidang termal?

Bidang suhupertumbuhan kristal tunggalmengacu pada distribusi suhu spasial dalam tungku kristal tunggal, juga dikenal sebagai medan termal. Selama kalsinasi, distribusi temperatur dalam sistem termal relatif stabil, yang disebut medan termal statis. Selama pertumbuhan kristal tunggal, medan termal akan berubah, yang disebut medan termal dinamis.

Ketika kristal tunggal tumbuh, karena transformasi fase yang berkelanjutan (fase cair ke fase padat), panas laten fase padat terus dilepaskan. Pada saat yang sama, kristal semakin panjang, tingkat lelehan terus menurun, dan konduksi panas serta radiasi berubah. Oleh karena itu, medan termal berubah, yang disebut medan termal dinamis.

Apa yang dimaksud dengan antarmuka padat-cair?

Pada saat tertentu, setiap titik dalam tungku mempunyai suhu tertentu. Jika kita menghubungkan titik-titik dalam ruang yang suhunya sama pada bidang suhu, maka akan diperoleh permukaan spasial. Pada permukaan spasial ini, suhu di semua tempat sama, yang kita sebut permukaan isotermal. Di antara permukaan isotermal pada tungku kristal tunggal terdapat permukaan isotermal yang sangat khusus, yaitu antarmuka antara fasa padat dan fasa cair, sehingga disebut juga antarmuka padat-cair. Kristal tumbuh dari antarmuka padat-cair.

Apa itu gradien suhu?

Gradien suhu mengacu pada laju perubahan suhu suatu titik A di medan termal ke suhu titik B di dekatnya. Artinya, laju perubahan suhu dalam satuan jarak.

Kapansilikon kristal tunggaltumbuh, ada dua bentuk padat dan leleh di medan termal, dan ada juga dua jenis gradien suhu:

▪ Gradien suhu memanjang dan gradien suhu radial dalam kristal.

▪ Gradien suhu memanjang dan gradien suhu radial dalam lelehan.

▪ Ini adalah dua distribusi suhu yang sangat berbeda, namun gradien suhu pada antarmuka padat-cairlah yang paling mempengaruhi keadaan kristalisasi. Gradien suhu radial kristal ditentukan oleh konduksi panas memanjang dan melintang kristal, radiasi permukaan, dan posisi baru dalam medan termal. Secara umum, suhu pusat kristal tinggi dan suhu tepi kristal rendah. Gradien suhu radial lelehan terutama ditentukan oleh pemanas di sekitarnya, sehingga suhu pusatnya rendah, suhu di dekat wadahnya tinggi, dan gradien suhu radialnya selalu positif.

Distribusi suhu yang wajar dari medan termal harus memenuhi kondisi berikut:

▪ Gradien suhu memanjang dalam kristal cukup besar, namun tidak terlalu besar, untuk memastikan bahwa terdapat kapasitas pembuangan panas yang cukup selamapertumbuhan kristaluntuk menghilangkan panas laten kristalisasi.

▪ Gradien suhu memanjang dalam lelehan relatif besar, memastikan tidak ada inti kristal baru yang dihasilkan dalam lelehan. Namun jika terlalu besar, mudah menyebabkan dislokasi dan patah.

▪ Gradien suhu memanjang pada antarmuka kristalisasi cukup besar, sehingga membentuk undercooling yang diperlukan, sehingga kristal tunggal mempunyai momentum pertumbuhan yang cukup. Seharusnya tidak terlalu besar, jika tidak akan terjadi cacat struktural, dan gradien suhu radial harus sekecil mungkin untuk membuat antarmuka kristalisasi menjadi datar.

VeTek Semiconductor adalah produsen Cina profesionalGrafit Berpori Pertumbuhan Kristal SiC, Wadah penarik monokristalin, Tarik Jig Kristal Tunggal Silikon, Wadah untuk Silikon Monokristalin, Tabung Dilapisi Tantalum Karbida untuk Pertumbuhan Kristal.  VeTek Semiconductor berkomitmen untuk menyediakan solusi canggih untuk berbagai produk SiC Wafer untuk industri semikonduktor.

Jika Anda tertarik dengan produk di atas, jangan ragu untuk menghubungi kami secara langsung.  

Massa: +86-180 6922 0752

WhatsApp: +86 180 6922 0752

Surel: anny@veteksemi.com