Lapisan CVD SiC terasa kaku

Sebagai bagian penting dari bagian grafit halfmoon pelapisan SiC, pelapis kaku CVD SiC memainkan peran penting dalam pelestarian panas selama proses pertumbuhan epitaksi SiC. VeTek Semiconductor adalah produsen dan pemasok kain kempa kaku pelapis CVD SiC yang matang, yang dapat menyediakan produk kempa kaku pelapis CVD SiC yang cocok dan sangat baik kepada pelanggan. VeTek Semiconductor berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di industri epitaksi.

mengirimkan permintaan

Deskripsi Produk

Kempa kaku pelapis CVD SiC adalah komponen yang diperoleh dengan pelapisan CVD SiC pada permukaan kempa kaku grafit, yang berfungsi sebagai lapisan insulasi panas.Lapisan CVD SiCmemiliki sifat yang sangat baik seperti ketahanan suhu tinggi, sifat mekanik yang sangat baik, stabilitas kimia, konduktivitas termal yang baik, isolasi listrik, dan ketahanan oksidasi yang sangat baik. Jadi, lapisan kaku CVD SiC memiliki kekuatan yang baik dan ketahanan suhu tinggi, dan biasanya digunakan untuk insulasi panas dan dukungan ruang reaksi epitaksi.

Properti Felt Kaku Grafit Kemurnian Tinggi：

● Tahan suhu tinggi: Lapisan kaku CVD SiC dapat menahan suhu hingga 1000℃ atau lebih, tergantung pada jenis bahannya.

● Stabilitas kimia: Lapisan kaku CVD SiC dapat tetap stabil di lingkungan kimia pertumbuhan epitaksi dan menahan erosi gas korosif.

● Kinerja isolasi termal: Lapisan kaku CVD SiC memiliki efek isolasi termal yang baik dan secara efektif dapat mencegah hilangnya panas dari ruang reaksi.

● Kekuatan mekanik: Lapisan keras SiC memiliki kekuatan mekanik dan kekakuan yang baik, sehingga tetap dapat mempertahankan bentuknya dan menopang komponen lain pada suhu tinggi.

Grafit Kaku MerasaFungsi:

● Isolasi termal: Lapisan kaku CVD SiC memberikan isolasi termal untukepitaksi SiCruang reaksi, menjaga lingkungan suhu tinggi di dalam ruang, dan memastikan stabilitas pertumbuhan epitaksi.

● Dukungan struktural: Lapisan kaku CVD SiC memberikan dukungan untukbagian bulan sabitdan komponen lainnya untuk mencegah kemungkinan deformasi atau kerusakan pada suhu tinggi dan tekanan tinggi.

● Kontrol aliran gas: Membantu mengontrol aliran dan distribusi gas di ruang reaksi, memastikan keseragaman gas di berbagai area, sehingga meningkatkan kualitas lapisan epitaksial.

VeTek Semiconductor dapat memberi Anda lapisan kaku CVD SiC yang disesuaikan dengan kebutuhan Anda. Semikonduktor VeTek sedang menunggu pertanyaan Anda.

itu Sifat fisik dasar lapisan CVD SiC:

Sifat fisik dasar lapisan CVD SiC
Milik	Nilai Khas
Struktur Kristal	Polikristalin fase β FCC, terutama berorientasi (111).
Kepadatan	3,21 gram/cm³
Kekerasan	Kekerasan Vickers 2500（beban 500g）
Butir Kamue	2~10μm
Kemurnian Kimia	Kemurnian Kimia99,99995%
Kapasitas Panas	640J·kg^-1·K^-1
Suhu Sublimasi	2700℃
Kekuatan Lentur	415 MPa RT 4 titik
Modulus Muda	tikungan 430 Gpa 4pt, 1300℃
Konduktivitas Termal	300W·m^-1·K^-1
Ekspansi Termal (CTE)	4,5×10^-6K^-1