Alas Kuarsa Menyatu ALD

VeTek Semiconductor ALD Fused Quartz Pedestal memainkan peran penting dalam proses pembuatan semikonduktor sebagai struktur pendukung untukperahu kuarsa, yang digunakan untuk menampungkue kue wafer. Fused Quartz Pedestal membantu mencapai deposisi film yang seragam dengan mempertahankan suhu yang stabil, yang secara langsung mempengaruhi kinerja dan keandalan perangkat semikonduktor. Selain itu, Alas Kuarsa memastikan distribusi panas dan cahaya yang merata di ruang proses, sehingga meningkatkan kualitas proses pengendapan secara keseluruhan.

Keunggulan Bahan Alas Kuarsa Menyatu ALD

Tahan Suhu Tinggi: Titik pelunakan alas kuarsa leburan setinggi sekitar 1730°C, dan dapat menahan pengoperasian suhu tinggi 1100°C hingga 1250°C untuk waktu yang lama, dan dapat terkena lingkungan bersuhu ekstrem hingga 1450°C untuk waktu yang singkat.

Ketahanan Korosi Yang Sangat Baik: Kuarsa leburan secara kimiawi sangat inert terhadap hampir semua asam kecuali asam fluorida. Ketahanan asamnya 30 kali lebih tinggi dari keramik dan 150 kali lebih tinggi dari baja tahan karat. Kuarsa yang menyatu secara kimiawi tidak tertandingi pada suhu tinggi, menjadikannya bahan yang ideal untuk proses kimia yang kompleks.

Stabilitas termal: Fitur utama dari material Fused Quartz Pedestal adalah koefisien muai panasnya yang sangat rendah. Artinya, ia dapat dengan mudah menangani fluktuasi suhu yang dramatis tanpa retak. Misalnya, kuarsa silika leburan dapat dengan cepat dipanaskan hingga 1100°C dan direndam langsung dalam air dingin tanpa kerusakan, yang merupakan fitur penting dalam kondisi produksi bertekanan tinggi.

Proses manufaktur yang ketat: Proses produksi alas silika leburan secara ketat mematuhi standar kualitas tinggi. Proses produksinya menggunakan proses pembentukan panas dan pengelasan, yang biasanya diselesaikan di lingkungan ruang bersih kelas 10.000. Setelah itu, alas kaca kuarsa yang menyatu dibersihkan secara menyeluruh dengan air ultra murni (18 MΩ) untuk memastikan kemurnian produk dan kinerja optimal. Setiap produk jadi diperiksa, dibersihkan, dan dikemas secara ketat dalam ruang bersih kelas 1.000 atau lebih tinggi untuk memenuhi standar tinggi industri semikonduktor.

Bahan kuarsa silika buram dengan kemurnian tinggi

VeTeksemi ALD Fused Quartz Pedestal menggunakan bahan kuarsa buram dengan kemurnian tinggi untuk mengisolasi panas dan cahaya secara efektif. Sifat pelindung panas dan pelindung cahayanya yang sangat baik memungkinkannya mempertahankan distribusi suhu yang seragam di ruang proses, memastikan keseragaman dan konsistensi tipis.deposisi filmpada permukaan wafer.

Bidang Aplikasi

Alas kuarsa leburan banyak digunakan di banyak bidang industri semikonduktor karena kinerjanya yang sangat baik. Diproses pengendapan lapisan atom (ALD)., ini mendukung kontrol pertumbuhan film yang tepat dan memastikan kemajuan perangkat semikonduktor. Diproses deposisi uap kimia tekanan rendah (LPCVD)., stabilitas termal dan kemampuan pelindung cahaya dari Pedestal kuarsa dengan kemurnian tinggi memberikan jaminan untuk pengendapan film tipis yang seragam, sehingga meningkatkan kinerja dan hasil perangkat.

Selain itu, dalam proses wafer difusi, ketahanan suhu tinggi dan ketahanan korosi kimia dari Fused Quartz Pedestal memastikan keandalan dan konsistensi proses doping bahan semikonduktor. Proses-proses utama ini menentukan kinerja listrik perangkat semikonduktor, dan bahan Fused Quartz berkualitas tinggi memainkan peran yang sangat diperlukan dalam mencapai hasil terbaik dari proses ini.

Toko Alas Kuarsa Menyatu ALD Semikonduktor VeTek: